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巴魯夫晶圓映射傳感器技術(shù)講解

更新時間:2020-06-19   點擊次數(shù):1671次

晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內(nèi)保障高精度

可集成到末端執(zhí)行器內(nèi),非常適合晶圓映射

為滿足您的晶圓映射需求,巴魯夫提供高精度光電傳感器,可完美集成到末端執(zhí)行器內(nèi)。我們的映射傳感器經(jīng)過專門設(shè)計,適合極薄的末端執(zhí)行器,傳感器的光斑均勻且受控性和聚光性*,因此,該傳感器可識別甚至只有幾微米厚度的晶圓,精度*。該傳感器能可靠識別整個卡槽,重疊的晶圓或歪斜的晶圓能始終得到識別。

映射傳感器基于光電Micromote技術(shù),它將一個極小的光學傳感器頭與外部處理單元(放大器)組合到一起,兩者通過高柔性電纜連接。這意味著您可以將傳感器應用于任何機械安裝方式,與其他Micromote傳感器一樣。

特點

  • 傳感器電纜非常緊湊、柔韌性高
  • 多功能傳感器頭
  • 使用BAE外部放大器,靈活性好,適用于各種應用

 

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